高感度光音響センサ/Highly sensitive photoacoustic sensors
高感度振動型センサ
シリコンの振動子を真空中に封止することで空気の粘性の影響が無くなり、外部からの僅かな外力に応答するセンサとして利用できます。本センサは様々な用途への応用が期待できますが、その一つは極めて微弱な音波を検出することです。
光音響による非侵襲血糖値センサへの応用
生体などが、照射したレーザー光を吸収すると微弱な音波(光音響)を発します。
この音波を高感度振動型センサで検出することで、体内物質を検出(光音響検出)することが可能です。
この原理を利用し当社は体内の血糖値を非侵襲で測定することに成功しています。
センサの概要については以下の論文に記載があります。
Hermetically Packaged Microsensor for Quality Factor-Enhanced Photoacoustic Biosensing(高Q値により感度増強した光音響センサのための真空封止マイクロセンサ),
雑誌:Photoacoustics, Volume 18, June 2020, 100189.
リンク: https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S221359792030029X
本センサは、各種の非破壊検査などへの応用も可能です。